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平面研磨機鏡面加工技術

　　對于研磨機來說，主(zhu)要是(shi)在維持研磨所(suo)取得(de)良好的平面(mian)(mian)度前提下(xia)，去(qu)除(chu)工件(jian)表面(mian)(mian)微(wei)小的凸(tu)起和表面(mian)(mian)損傷層(ceng)，以(yi)(yi)獲得(de)鏡面(mian)(mian)光度。所(suo)以(yi)(yi)要求均與(yu)、無方向(xiang)性地拋(pao)光整個工件(jian)表面(mian)(mian)。反映在速(su)(su)度上(shang)，就是(shi)工件(jian)表面(mian)(mian)上(shang)每(mei)一(yi)點的相對速(su)(su)度大小應在任何時(shi)候都保持恒定。

　　平面(mian)研磨(mo)機(ji)鏡面(mian)加工(gong)(gong)技術是一門新(xin)興的綜合性(xing)加工(gong)(gong)技術，它集成(cheng)了現代機(ji)械、光(guang)學(xue)、電(dian)子(zi)計算機(ji)、測量及(ji)(ji)材(cai)料等先進技術成(cheng)就，已(yi)成(cheng)為國家科學(xue)技術發展水平的重(zhong)要標志。隨著各(ge)種新(xin)型功能陶瓷材(cai)料的不斷研制(zhi)成(cheng)功，以及(ji)(ji)這些材(cai)料在(zai)各(ge)種高(gao)性(xing)能電(dian)子(zi)元器件、光(guang)學(xue)、信息系統等領(ling)域的廣泛應(ying)用(yong)，要求(qiu)元件和零件的加工(gong)(gong)精(jing)度越來越高(gao)，有的甚(shen)至要求(qiu)達(da)到納米級(ji)或更高(gao)的加工(gong)(gong)精(jing)度以及(ji)(ji)無損傷的表面(mian)加工(gong)(gong)質量。

　　工(gong)(gong)件是不變形(xing)的(de)(de)剛體(ti)，拋(pao)光(guang)盤(pan)(pan)是能按(an)工(gong)(gong)件加(jia)(jia)工(gong)(gong)面(mian)(mian)形(xing)狀變形(xing)的(de)(de)彈性體(ti)。這時(shi)可以忽略(lve)介于(yu)兩者之間的(de)(de)磨粒與加(jia)(jia)工(gong)(gong)液的(de)(de)厚度和形(xing)狀變化，認為(wei)工(gong)(gong)件與拋(pao)光(guang)盤(pan)(pan)間貼緊;當工(gong)(gong)件尺寸(cun)大(da)于(yu)拋(pao)光(guang)盤(pan)(pan)半徑(jing)，或偏心距過(guo)大(da)時(shi)，工(gong)(gong)件會露出(chu)(chu)拋(pao)光(guang)盤(pan)(pan)，既有(you)一(yi)部分(fen)表面(mian)(mian)不能與拋(pao)光(guang)盤(pan)(pan)始終(zhong)接觸(chu);當研磨或拋(pao)光(guang)過(guo)程(cheng)中，工(gong)(gong)件材(cai)料(liao)平行(xing)度誤(wu)差(cha)超出(chu)(chu)允許范圍時(shi)就(jiu)需(xu)要(yao)對其平行(xing)度進行(xing)修(xiu)正。 在平面(mian)(mian)拋(pao)光(guang)機的(de)(de)鏡面(mian)(mian)拋(pao)光(guang)加(jia)(jia)工(gong)(gong)工(gong)(gong)序中，可以認為(wei)工(gong)(gong)件的(de)(de)去除量(liang)主要(yao)是由磨削路徑(jing)的(de)(de)長度決定的(de)(de)，因此直接控制工(gong)(gong)件表面(mian)(mian)的(de)(de)磨削路徑(jing)長度能夠更加(jia)(jia)精(jing)確控制工(gong)(gong)件的(de)(de)去除量(liang)。